高負荷ポジショニングステージ CHS-9257-1D-15

リニア圧電ロングレース用

このロングトラベル高荷重ステージは、スマーアクトの交換可能なドライブユニットを搭載しており、点検の際にピエゾドライブ全体をステージから取り外すことができます。ドライブユニットにはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンス時に装置を位置決めセットアップから取り外す必要はありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証され、直接位置フィードバックとクローズドループ動作のための位置センサーの統合が可能です。取付穴パターンにより、CLS92シリーズのリニアステージに簡単にネジ止めできます。オプションとして、ご要望に応じて最大リフト力を増加させることができます。 メカニカル 最大リフト力リフト力 [N] - 15 寸法 [mm] - 92 x 92 x 57 重量 [g] - 935 クローズド・ループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 単一方向繰り返し精度 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ(H)CU [nm] - ± 200 (S,L) オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、ブラックアルマイト（-BK 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)