リニアポジショニングステージ PLF3232-xy.60

XY軸圧電2軸

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF3232-xy.60は、XおよびY方向に60μmのスキャン範囲を提供します。重量は45 gと非常に軽く、32 x 32 x 20 mmと非常にコンパクトです。PLF3232-x.60は、2台のPLF3232-x.60スキャナーを1台に統合したもので、高さは低くなっていますが、性能は同じです。 このサイズとホールパターンにより、CLS-3232のような他のリニアステージやポジショナーに理想的にフィットし、長い移動範囲と高精度を実現します。