角度調整可能変位センサ C04

非接触式光学式多目的

汎用小型センサーヘッド。 C04はピコスケール干渉計の新しい標準センサーヘッドで、ほとんどの場合C01に置き換わります。コリメートされた出力ビームとコンパクトな形状により、ほとんどの一般的な用途に適しています。 センサーヘッド ビーム形状 - 平行光 ビームウエスト径 [µm] - 350 作動距離 [mm] - 13 ... 500 角度動作範囲 [ - ± 0.075 環境適合性 - 空気、HV、UHV 代表的なターゲット - ミラー メカニカル 寸法 [mm] - 4 x 13 (Ø x L)