インクリメンタルリニアエンコ—ダ METIRIO®

絶対アナログロボット用

内蔵された光源は、20μmピッチのインクリメンタルグレーティングと、絶対位置決め用のリファレンスマーク付きトラックで構成されるスケールを照射します。反射光は干渉パターンを生成し、リードヘッド内のダイオードアレイで検出されます。スケールとリードヘッド間の相対移動により、アナログのサイン信号とコサイン信号、TTL 形状の基準マークが得られます。 > コンパクトサイズ：6.6 x 5.1 x 1.7 mm > 高分解能： 0.4 nm @ 1 m/s > 位置決め速度：最大10 m/s > 10-11 mbarまでのUHV互換性 > 動作温度範囲0 °C - 80 °C > 機械的振動のある過酷な環境 > 20 µmピッチの多様な反射スケールに対応 > クローズドループモーションシステム > ロボット工学 > 半導体産業 > 変位測定システム用ゲージ > ライフサイエンスと顕微鏡における高精度サンプルスキャン > 高解像度3Dプリンティング > 研究開発