リニア小型ナノ位置決めステージ SLC-1730
圧電閉ループ精密

リニア小型ナノ位置決めステージ
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特徴

方向
リニア
その他の特徴
-翻訳中-, 精密, 閉ループ, 開ループ
ストローク

21 mm
(0.827 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

寸法30 x 17 x 8.5 mmのこの小型ナノメートル精密リニアステージSLC-1730は、21 mmの移動範囲と20 Nの常用荷重を提供します。 このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用の1730の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5 最大法線力 [N] - 20 最大持ち上げ力 [N] - > 1.5リフト力 [N] - > 1.5 寸法 [mm] - 30 x 17 x 8.5 重量 [g] - 20 オープン・ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK 機械的オプション - より高い機械的強度のためのU字型ベース(-W)幅を23mmに拡大、寿命延長(-Z) 性能オプション - より高いブロック力(-D):+1.5 N 極低温オプション - あり(オープンループのみ)

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カタログ

Catalog 22
Catalog 22
182 ページ
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 ページ
SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。