リニア小型ナノ位置決めステージ SLC-1720

圧電単軸閉ループ

SLC-1720は、スマーアクトのSLC-17シリーズで最小のナノメートル精度のリニアステージです。22mm×17mm×8.5mmで、ナノメートル分解能とマクロスコピック移動範囲を備えた世界最小のクローズドループ・ピエゾステージです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを搭載した大気圧またはHV環境用の1720の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5 最大法線力 [N] - 10 最大持ち上げ力 [N] - > 1.5リフト力 [N] - > 1.5 寸法 [mm] - 22 x 17 x 8.5 重量 [g] - 13 オープン・ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、ブラックアルマイト（-BK 機械的オプション - より高い機械的強度のためのU字型ベース（-W）幅を23mmに拡大、寿命延長（-Z） 性能オプション - より高いブロック力（-D）：+1.5 N 極低温オプション - あり（オープンループのみ）