管状炉 ESY–10 TTT

液相エピタキシャル縦型黒鉛

フレキシブルに使えるLPE装置 SOFオプトエレクトロニクスESY-10 Conceptの特長は、高い生産能力と、様々なLPE生産技術への柔軟な対応力です。5回溶融プロセスで50枚、1回溶融プロセスで200枚という能力は、本装置の高いポテンシャルを表しています。 産業用標準装置ESY-10に加え、お客様のご要望に応じた豊富なオプションをご用意しています。ESY-10は、特に研究機関や大学のニーズに対応することができます。 ESY-10は1台または2台のシステムとして設計することができ、クリーンルームの設置面積を小さくすることができます。 利用可能な製造技術 標準赤外線 パワー赤外線 パワーIR (低紫外線) パワーウインドウ赤外線 IrDA用パワー赤外線 870nm パワー赤外線（IrDA 850 nm 低ドープGaAs テクニカルハイライト シングルまたはツインシステム 縦型LPE石英管 3つのヒーティングゾーン 定温フラットゾーン：250 mm 最高温度：1,050°C 温度制御精度：± 0.5 °C 最小必要なスペース：1.2 x 1.2 m2 水平積層方式による高い膜厚均一性 コンピュータ制御による全自動 制御された処理 全プロセスパラメータのデータロギング 多層エピタキシャルプロセスに対応 最大4″までのウェーハ直径に対応 柔軟なウェーハキャパシティ対応 最小3枚の開発用ウェハー 生産用として最大200枚まで ESY-10グラファイトシステムは、グラファイトプレートの固定と可動を交互に行い、くぼみで基板を保持する原理になっています。システムの容量は、グラファイトプレートの積み重ねの高さによって決まります。