DW/S スプリングプッシュ作動 (ウルトラフェザータッチ
•ウルトラフェザータッチ
•超低接触圧 0.03~0.06N
•10mmの測定レンジ
•0.1μm以上の精度
•繰り返し精度0.05μm以上
•分解能0.01μm以上
•ナイロン製およびルビー製のティップを使用可能
•スプリング作動
•IP50シーリング
ウルトラフェザータッチプローブの接触圧は非常に小さく、非接触センサの代わりとして多くのアプリケー ションで使用可能です。ウルトラフェザータッチはナイロン製およびルビー製のさまざまなティップを使用 でき、ガラス、ゴム、半導体ウェハ、およびその他のデリケートな素材を確認するために使われています。