ソルバーグのWLシリーズ中・高真空フィルターは、検証されたリーク率を必要とし、中・高真空条件下で動作する産業用およびセミコンプロセス用に設計されています。WLシリーズには、ISO真空フィッティングを含む様々な真空専用接続オプションがあり、優れた保護とシステム寿命のための多数のフィルターメディアオプションがあります。このシリーズのハウジングは100%ヘリウムリークテスト済みで、1x 10-5 mbar l/s以上のリーク率で真空の完全性を保証します。
ソルバーグのWLインレット真空フィルターシリーズには、以下のような複数の構成があります:
高効率ろ過
化学吸着
高温構造材料
特徴
NW16 - NW40 フランジ接続:
ISOフランジ接続
ステンレススチール製ISOフランジ
ブナOリングシール
シームレスハウジング
耐腐食性炭素鋼構造
粉体塗装仕上げ(黒色モデル)
O-リングハウジングシール
ステンレス製トーション・クリップ
K100 - K320 接続
ISO-K ステンレス鋼フランジ標準
フランジ表面はRMS63に機械加工、無塗装
高品質の真空サービス部品
耐腐食性黒色粉体塗装炭素鋼
正確な真空度ΔP測定用KF10ディファレンシャルポート
ISOフランジ面の機械加工と研磨されたシール面により、あらゆるフランジタイプで信頼性の高い真空性能を実現
K200以上のハウジングには、たわみを最小限に抑え、耐久性を高めるドーム型の蓋が付いています。
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