半導体産業用回転冷却器 Nikola series

水冷式熱電気

セミコンダクターチラー ニコラ 3K/5K プラズマエッチングおよび他の半応用のための高容量のサーモエレクトリックチラー 半導体プロセス専用に設計された最高容量のチラーです。 3,000または5,000ワットの冷却能力 ±0.05°C 温度安定性/繰り返し性 最大流量10 gpm、最大圧力100 psigまでの2つのポンプオプション ウェーハ間のバラツキを低減し、ファーストウェーハ効果を排除 コンプレッサーベースの冷凍機に比べて最大80%のエネルギー効率向上 高い信頼性とメンテナンスコストの削減のためにサーモエレクトリック技術を使用しています。 メンテナンスが容易なモジュール設計 フロンをはじめとする有害な冷媒を排除し、新たな環境規制に対応 設備水の使用量が少なく、フロリナートやガルデンなどの高価なクーラントの使用量が少ない AMAT、LAM、TEL、日立の各システムに対応した通信インターフェースを用意 ユニバーサル電源 - プラグインして世界中のどこにでも行ける プラズマエッチング、プラズマアッシュ、計測、CMP、その他のプロセスに最適なソリューション