水用回転冷却器 ThermoRack 1201

半導体産業用コンパクトラックマウント

ThermoRack 1201は、19 "ラックマウント型のサーモエレクトリック循環式冷凍機で、具体的には以下のように設計されています。 半導体製造 プラズマエッチング プラズマ灰 ソーラー＆フラットパネルディスプレイ製造 動作範囲: -10°C ～ 80°C 周囲温度: - 10°C ～ 40°C 非凝結 安定性/繰返し精度: - ± 0.05°C、定荷重時（周囲温度付近でも可 冷却能力: - 最大1340ワット@20℃の設備水で20℃の場合 加熱能力: - 最大2000ワット@20℃の設備水で20℃の場合 クーラント/プロセス流体： -グリコール/水の混合物、フルオリーナート/ガルデンまたはHFE プロセス流体継手: - 1/2 "スウェージロック ポンプ： - 14 lpm (3.7 gpm) @ 30 psig (HFE使用時) タンク容量： - 5.7リットル（1.5ガル）、レベルセンサー2個付き 施設の水： - 4-19 lpm (1-5 gpm) @ 10-35°C ろ過され、処理された再循環施設冷却水 施設の水の付属品: - 1/2" Swagelok (316 ステンレス鋼) N2/CDA (オプション): -500 sccm -30℃露点以下のCDAまたはN2。 30-60 psig (2-4 bar) 低温動作用 湿潤材料 - プロセス アルミ、ステンレス、ポリマー 設備 テフロン含浸アルマイト およびステンレス鋼 サイズ（幅×奥行×高さ）：●19インチ×24インチ×8.7インチ 5U（48.3×61×22.1cm 重量: - 70 lbs (31 kg) 電源入力 - 200-240 VAC 1相、50/60 Hz、最大10アンペア サーキットブレーカー: - 16 アンペア 200-250 VAC 2 極、30 mA GFCI 付き リモートEMO: - 外部ドライコンタクト 通信を行っています。 - ラムアナログ、AMAT CHX、Tel Unity II アラーム: - 温度、液面、システムまたはコンポーネント 故障（ディスプレイ、ドライコンタクト、マシンインターフェース 規格。 - セミS2-0200、F47準拠、CE。 UL、CAN/CSAおよびEN 61010-1にリストされているTUV 保証: - 2年