水用冷却器 ThermoRack 1801

コンパクト熱電気

セミコンダクターチラー サーモラック1801 プラズマエッチングなどのセミアプリケーション向けの高容量ラックマウントチラー 1,800ワットの冷却能力 - 同じ5Uラックマウント・エンクロージャーのThermoRack 1201より50%多い容量 ±0.05°C 温度安定性/繰り返し性 動作範囲 -20°C～70°C 非常に速い応答のために設計されている 標準的なハイフロー、ミディアムフロー、ローフロー構成で利用可能 ウェーハ間のバラツキを低減し、ファーストウェーハ効果を排除 コンプレッサーベースの冷凍機に比べて最大80%のエネルギー効率向上 高い信頼性とメンテナンスコストの削減のためにサーモエレクトリック技術を使用しています。 シンプルなデザイン - 2つの可動部のみ フロンをはじめとする有害な冷媒を排除し、新たな環境規制に対応 設備水の使用量が少なく、フロリナートやガルデンなどの高価なクーラントの使用量が少ない コンパクトサイズ。1台のコンプレッサーチラーのスペースに最大6台のTR1801システムを収めることができます。 AMAT、LAM、TEL、日立の各システムに対応した通信インターフェースを用意 ユニバーサル電源 - プラグインして世界中のどこにでも行ける プラズマエッチング、プラズマアッシュ、CMPなどのプロセスに最適なソリューション