エッジ研磨機 EPD-X series

産業用自動

300mm又は200mmデバイスウェーハのエッジ研磨により、チップ歩留りを改善する装置です。エッチングや洗浄等のエッジ処理に比べ、飛躍的に歩留りを向上させます。洗浄装置を搭載し、ドライイン・ドライアウトを実現しています。