ウェハー研削用ラッピングマシン DSM28B-5L-4D
研磨機

ウェハー研削用ラッピングマシン - DSM28B-5L-4D - SPEEDFAM NV/SA - 研磨機
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特徴

特性
研磨機
応用
ウェハー研削用

詳細

300mm ウェーハ向け両面ラップ装置です。 1 バッチあたり 15 枚を量産します。精密な定盤荷重制御、渦電流式定寸制御など、最新鋭の機能を多く搭載し、ナノトポグラフィーを適正化します。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。