エッジ研磨機 EP-X series産業用自動表面用
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特徴
- 特性
- 産業用
- その他の特徴
- 自動, 表面用, 鏡, エッジ
詳細
300mm シリコンベアウェーハ向け高スループット装置です。三面同時研磨を行うウェーハ外周エッジの他、ノッチ内部またはオリフラ直線部も鏡面化し、エッジ部全体のダメージ領域を除去します。
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