セラミック用研磨機 FAM5 series

シ－ト自動片面

シリコンベアウェーハ向け自動片面研磨装置です。セラミックプレート自動搬送、超低熱膨張定盤、定盤冷却、研磨ヘッドの単独強制駆動、精密エアー加圧、通信システムなど、様々な先進技術を搭載しています。