ロータリーマグネトロン TC-Series

イオンスパッタ

TCシリーズ内部エンドブロックは、最もコンパクトな設計で独自の電力供給技術を備えています。 TCは最大1500mmまでのターゲットを扱うことができ、出力定格は40kWのDCまたは80kHzのMFACです。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 この設計により、エンドブロック内のガルバニック腐食の可能性が排除され、水漏れや短絡の原因となります。 スパッタリングコンポーネントのTC内部実装エンドブロックは、新しいコーターに取り付けることができ、または平面システムを簡単に置き換えることができます。 特徴 特許取得済みのパワーデリバリー技術 ユニークなターゲットアタッチメント方法 耐久性、長寿命のロータリーシール 標準、産業用ターゲットで利用可能な最もコンパクトな設計 非専有ターゲット設計 標準ターゲットサイズに適合 特許取得済みのターゲット水フィル/排水機能メリット 優れた信頼性 取り付け簡単 高速ターゲット変更 2時間の年間メンテナンス; 3時間のトータルエンドブロック再構築 非常に低いメンテナンスコスト あらゆるベンダーのターゲットを使用 誘導加熱の影響のない優れた電力能力-ブラシダスト なしガルバニック腐食なし