ロータリーマグネトロン CM

フラットイオンスパッタ

CMは、当社の最もコンパクトな外部実装エンドブロックです。 最大1000mmのターゲットに対応でき、最大20kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 CM外部実装エンドブロックは、非常にコンパクトで軽量な設計で高性能と信頼性を兼ね備えています。 特長 カスタマイズ可能なドライブシャフト長 コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ 特許取得済みの給電技術 特許取得済みのターゲット水の充填とドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 広い内部エンドブロックよりも基板のカバレッジ ほとんどのチャンバ設計に適合 すべてのユーティリティは外部であり、ターゲット切り替え中に取り付けられたままです 高パッキング密度; 220mmスペース（80mm IDターゲット付き）のデュアルカソ ードドライブモーターは上下または内向きにマウントできます 高出力誘導加熱の影響なし-ブラシダストなし 高速でシンプルな社内メンテナンス 共同スパッタリング、より緊密なプラズマカップリング、シールドコーティングの制限が可能