マルチチャンネルマニホールド BGMA

ガス用

バイナリガスマニホールド（BGMA）は、マニホールドの長さに関係なく、最も均一なガス流量と最速のリアクティブスパッタリング応答時間のために、各出口で等しいコンダクタンスを有します。 流動の均一性は、有限要素解析によって検証されます。 堅牢でシンプルなデザインで、簡単に清掃できます。 主なガスと追加のガス用にセグメント化された長さに関係なく各コンセントに等しいコンダクタンスを特徴 取り付けハードウェアと廃棄物シールドを備えた完全な 堅牢でシンプルな設計の 利点 最高の均一性 高速反応スパッタリング応答時間 耐久性と容易きれいに