イオンスパッタマグネトロン SM

当社最大の外部マウントエンドブロックであるSMは、最大4000mm（対応）のターゲットに対応し、最大200kW DCまたは80kHz MFACの定格電力を備えています。 当社の内部エンドブロックと同じ特許技術を使用し、優れた価値、性能、信頼性を提供しますが、より広い基板カバー率とカスタマイズ可能なドライブシャフトの長さを持っています。 タイプ シンプルなシングルエンド設計で、迅速なターゲット変更、高い信頼性と簡単なメンテナンスに必要な場合は、アウトボードサポートを備えています。 電力（最大）：200 kW DCまたはMFAC V/A: 1500 V/450 A ターゲット長（最大）：4000mm メンテナンスをします。 あなたのスケジュールと施設内でドゥイットユアセルフ、インストラクションビデオがあります。 エンドブロックは、外部ユーティリティーを取り付けたままの状態で取り付けることができます。 典型的な要件。 - 2年ごとのシールキットとブッシング（1時間 - 10年後の静電シール、ベアリング、ベルト（3時間