SCI TRM-Bar™ およびQRM-Bar™ マグネティクスは、お客様が必要とする柔軟性を提供します。 マグネットアッセンブリは、封止された磁石を備え、お客様のプロセス要件に適合するように適応できます。
SCIの高度な磁気システム機能:
お客様のアプリケーション要件に適合する複数の磁気設計
3Dfinit要素解析ソフトウェアを使用して設計された高度な磁気学
自動マグネットバー測定ツールを使用して工場で較正された高強度磁石
完全に封止された磁石と長年のトラブルフリー動作のための堅牢な構造
長寿命、スパッタアップ、スパッタダウン、またはオフアングルスパッタリングのためのマルチローラーシステム
磁気均一性調整は、フィールドで簡単に行うことができます
垂直のためのソリューションを備えた簡単なインストール手順インストールは
TRM-Bar™
業界で実証済みのデザインで、現在動作中の何千ものバーを備えた
光学グレードフィルムの高レート反応モードまたは金属モードスパッタリング
mQRM-Bar™
小さな磁石4列デザインはTRMよりも強度を50%向上させます
プラズマ形成フリンジなしフィールド
TRM
QRM-Bar™ よりも低いインピーダンス
TCOやその他の電気グレードのフィルムの低インピーダンススパッタリングのための「特許出願中」磁性能
スパッタリング効率の向上消費電力と運用コストの削減
SRM80-Bar™ および TRM80-Bar™
高強度磁石密閉された
3D有限要素解析ソフトウェアを使用して設計された高度な磁性磁性
磁石は、1%以内の強度で一致しています
大型磁石、単列設計
あらゆる向きに簡単に取り付け
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