サイドマウントマグネトロン MM Series

ロータリー

MMは、中型外付エンドブロックです。 最大2500mm（サポート）のターゲットに対応でき、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 MMシリーズ外部マウントエンドブロックは、当社のMCシリーズエンドブロックと同じ特許技術を使用して、コンパクトな設計で卓越した価値、性能、信頼性を提供します。 カスタマイズ可能なドライブシャフト長さ コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ特許取得済みの電力供給技術 特許取得済みのターゲットウォーターフィルとドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 内部エンドブロックよりも広い基板カバレッジ ほとんどのチャンバデザインに適合 すべてのユーティリティは外部にあり、ターゲット切り替え 高パッキング密度; 350mmスペースのデュアルカソ ードドライブモーターは、上下または内向きに、または外側にマウントすることができます 誘導加熱の影響のない高出力-ブラシダストなし 高速でシンプルで、社内メンテナンス が可能共同スパッタリング、より緊密なプラズマ結合、シールドを制限コーティング