リニアポジショニングステージ PST1E520A

精密コンパクト

位置フィードバックのコアとして、誘導型センシングエレメントを採用しています。本シリーズは、実用的な位置決め分解能だけでなく、よりコンパクトなサイズ、より優れた耐環境性、競争力のある価格を実現しています。高精度な位置決めやマイクロ・ナノモーション制御、真空環境下での使用など、あらゆるアプリケーションに対応します。