誘導型ピエゾ垂直ステージ
1.可動域は10mmの1種類。
2.最大荷重は150g
3.37 nmの代表的な分解能"
DESCRIPTION
位置フィードバックのコアとして、誘導型センシングエレメントを採用しています。本シリーズは、実用的な位置決め分解能だけでなく、よりコンパクトなサイズ、より優れた耐環境性、競争力のある価格を実現しています。高精度な位置決めやマイクロ・ナノモーション制御、真空環境下での使用など、あらゆるアプリケーションに対応します。
誘導型ピエゾ垂直ステージは、1種類の移動範囲(10mm)を提供します。最大荷重は150gで、37nmの標準的な分解能があります。
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