縦型ポジショニングステージ PST8E310A 圧電精密標準
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特徴
- 方向
- 縦型
- その他の特徴
- 精密, 標準
- 速度
10 mm/s
- 繰返し精度
50 nm
- 積載量
150 g
(5.29 oz)
詳細
光ピエゾ垂直ステージ
1.可動域は10mmの1種類。
3.高精度な1nm、標準的な100nmの解像度を実現。
DESCRIPTION
光学式センシング素子は、位置フィードバックのコアとして応用されています。この製品シリーズは、高精度な位置決めやモーションコントロールが必要なあらゆるアプリケーションに適しています。信頼性の高い安定した位置決め能力だけでなく、さまざまな分解能のオプションも備えています。
アプリケ-ション
半導体産業 バイオメディカル オプトエレクトロニクス/光通信産業
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