リニアポジショニングステージ PST1E328A 圧電精密標準
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特徴
- 方向
- リニア
- その他の特徴
- 精密, 標準
- 速度
10 mm/s
- 繰返し精度
50 nm
- 積載量
4 kg
(8.82 lb)
詳細
光ピエゾ式リニアステージ
1.3種類の可動域（28mm/36mm/44mm）を提供。
3.高精度1nmと標準100nmの代表的な分解能。"
DESCRIPTION
光学式センシング素子は、位置フィードバックのコアとして応用されています。この製品シリーズは、高精度な位置決めやモーションコントロールが必要なあらゆるアプリケーションに適しています。信頼性の高い安定した位置決め能力だけでなく、さまざまな分解能のオプションも備えています。
アプリケ-ション
半導体産業 バイオメディカル オプトエレクトロニクス/光通信産業
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