リニアポジショニングステージ PST1E328A
圧電精密標準

リニアポジショニングステージ - PST1E328A  - STAF - 圧電 / 精密 / 標準
リニアポジショニングステージ - PST1E328A  - STAF - 圧電 / 精密 / 標準
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特徴

方向
リニア
その他の特徴
精密, 標準
速度

10 mm/s

繰返し精度

50 nm

積載量

4 kg
(8.82 lb)

詳細

光ピエゾ式リニアステージ 1.3種類の可動域(28mm/36mm/44mm)を提供。 3.高精度1nmと標準100nmの代表的な分解能。" DESCRIPTION 光学式センシング素子は、位置フィードバックのコアとして応用されています。この製品シリーズは、高精度な位置決めやモーションコントロールが必要なあらゆるアプリケーションに適しています。信頼性の高い安定した位置決め能力だけでなく、さまざまな分解能のオプションも備えています。 アプリケ-ション 半導体産業 バイオメディカル オプトエレクトロニクス/光通信産業

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