- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XYZ軸配置システム
- Steinmeyer Holding GmbH
多軸配置システム 782430:002.26XYZ軸4軸リニア
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特徴
- 軸の数
- 多軸, XYZ軸, 4軸
- 構造
- リニア, 自動, 縦型, 横型, 門型
- 応用
- ロボット用, 工業用, ウェハー検査および計測学用, 半導体産業用, クリーンルーム用, 衛生用途, 光応用, 顕微鏡用, サンプル準備用, 品質管理用, プリント回路用
- その他の特徴
- サーボ制御, コンパクト, ボールねじ, USB, 高解像度, リニアモータ駆動, サーボモータ, 組合せモジュール, 大開口, プロフィｰルレール上, 高速, 花崗岩スラブ用, 精密, 制御機付
- 繰返し精度
最少: 0.3 µm
最大: 2.5 µm
- 積載量
最少: 5 kg
(11.02 lb)最大: 20 kg
(44.09 lb)- ストローク
最少: 100 mm
(3.94 in)最大: 720 mm
(28.35 in)- 速度
最少: 150 mm/s
最大: 1,500 mm/s
詳細
半導体用XYZデュアルインスペクションポータル
カスタマイズ可能
- ウェハー/半導体の自動検査に最適
- 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲
- 2つのプロセスを同時に統合することが可能
クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。
仕様
- ストローク：720×720×100mm×各2本
- X軸：各2本（25kgまでのスキャナー/顕微鏡用
- Y軸各2本（23 kgまでのチャック、12インチ/300 mmまでのウェハー用
- 繰り返し精度：1.5 - ± 0.3 µm
- 速度：750 - 1500 mm (XY) / 150 - 300 (Z)
- 最大荷重150 N (XY) / 200 N (Z)
- 駆動方式：リニアモーター（アイアンレス）、プロファイルレール（XY）｜ボールネジ、ACサーボ（Z）
- フィードバック：リニアスケール、モーターエンコーダー
- モーションコントローラーFMC-250/280、ACS、PLCインテグレーション
- クリーンルームクラスISO 2
カスタマイズされたオプション
- プロセス適合性、サンプルホルダー、ヘッド/センサー
- クリーンルームISO 14644-1対応版（ご要望によりクラス1まで対応可能です。）
- ラック、防振、エンクロージャー、セーフティーコンセプト
- 吸引および循環ベルトカバー用コネクション
- XYZ-Rx-Ry-Rzモーションの自由度拡大
- 位置決めタスクのための3D設計による個別ソリューションの発見
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