XYZ軸配置システム 782350:003.26

リニアボールねじDCモーター

検査用XYZガントリー カスタマイズ可能 - 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適 - 極めて高い剛性により、ナノメートル領域の分解能を実現 - お客様固有の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応 - 最高速度2420 mm/sの卓越した高スループット - 可変パラメータ下でのエアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動 このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ストローク700 x 700 x 700 x 200 mm - 15kgまでのプロセスヘッド用Zステージ - 繰り返し精度：0.3 - ± 0.4 µm - 速度: 1210 - 2420 mm (XY) / 30 - 60 mm (Z) - 最大荷重100 n (X) / 500 n (Y) / 150 n (Z) - 駆動：リニアモーター（アイアンレス）、エアベアリング（XY）｜ボールねじ、DCモーター、クロスローラーベアリング（Z） - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - トラベル、長さの組み合わせ、ケーブル配線、モーションの適合 - 顧客固有のアプリケーション全体へのカスタマイズと統合 - サンプル ソフトウェアを含む、設定済みコントローラによるすぐに使える制御