4軸配置システム 782300:183.26

XYZ軸リニアDCモーター

XY-2Z 4軸ガントリー（絞り付き カスタマイズ可能 - 連続動作でのスポット差分高さ測定に最適 - アパーチャー70 x 100 mm用の両面Zセンサーポジショナー - 振動減衰設計により、1µmまでの繰り返し精度に優れた処理値を実現 - エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減 - 優れた寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - 標準システムPLT165-DLM（XY）／PMT160-DC（Z1、Z2） - ストローク600 x 600 x 100 x 100 mm - 繰り返し精度：0.2 - ±2 µm - 速度: 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z) - 最大荷重150 N (Z) - 駆動：リニアモーター（鉄芯）、プロファイルレール（XY）｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー（Z） - フィードバック: リニアスケール - モーションコントローラー：ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - 移動範囲、キャリア、長さの組み合わせの適応 - 安全エンクロージャーと異なるベースプレート - 拭き取り可能な耐薬品性表面 - ISO 14644-1バージョン（ご要望によりクラス1まで対応可能） - 位置決めタスクの3D設計による個別ソリューション開発 - 開口部: 70 x 100 mm - 長さ x 幅 x 高さ: 1850 x 1920 x 1150 mm