XYZ軸配置システム 782481:001.26

リニアウェハー検査および計測学用ボールねじ

ウェハ検査、顕微鏡用XYZ AFMガントリー カスタマイズ可能 - 振動の影響を受けない高剛性・高精度な測定に最適 - 150 x 275 x 50 mmの移動量による高いスループット、550 x 1550 x 50 mmまで拡張可能 - 静止状態で5nm以上の極めて高い安定性 - 磨耗のないエアベアリングの使用による卓越した長寿命 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラス試料の高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFM用にZ方向に可動するカンチレバーがあります。 仕様 - 標準システムPLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - ストローク600 x 600 x 100 x 100 mm - 繰り返し精度：0.2 - ±2 µm - 速度: 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z) - 最大荷重150 N (Z) - 駆動：リニアモーター（鉄芯）、プロファイルレール（XY）｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー（Z） - フィードバック: リニアスケール - モーションコントローラー：ACS、PLC統合 オプションで適応可能 ナノサーフは、コンパクトで組み立て可能な、カスタマイズされたAFMシステムを提供します。