XYZ軸配置システム 782430:002.26

門型リニアモータ駆動サーボモータ

カスタマイズ可能 - ウェーハ、プローブカード、プリント基板の自動検査に最適 - 最大720 mmの移動で複数の対象物を同時に検査 - 2つのプロセスを同時に統合するのに最適 - 花崗岩構造による迅速なシステム交換により、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプトを実現 この検査システムはクリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できます。高ダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状を検査し、測定を実行し、特別な品質特性を記録します。 仕様 - 標準コンポーネントPMT290-EDLM (XY) - トラベル：720 mm (XY) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) / ± 1.5 - ± 2.5 µm (Z) - 速度：750 mm/s (XY) / 150 mm/s (Z) - 最大荷重150 n (XY) / ± 200 n (Z) - 最大試料寸法[Ø] 12 インチ / 300 mm - 長さ x 幅 x 高さ: 1230 x 1200 x 1030 mm - 駆動アイアンレスダイナミックリニアモーター（XY）｜ACサーボ、ボールねじ（Z） - フィードバックリニアスケール（XY）｜モーターエンコーダー（Z） - クリーンルーム仕様：ISOクラス2まで対応 カスタマイズオプション - クリーンルーム適合 ISO 14644-1 クラス 2 (ご要望によりクラス 1 まで) - 排気および回転ベルトカバー用コネクション - シングルポータルとしても利用可能 - サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラーによるすぐに使える制御システム。