XYZ軸配置システム 782300:222.26

門型ウェハー検査および計測学用ステッピングモーター付き

カスタマイズ可能 - 最大650 x 650 mmの大型サンプルの表面検査と膜厚測定に最適 - 繰り返し精度2μmまでの精密測定 - ステッピングモーター駆動による優れたコストパフォーマンス - 20kgまでのセンサーに対応する強力で堅牢なZ軸 - 粉塵、煙などの産業環境に最適 この検査システムは、50 kgまでの大型で平坦な試料の自動品質管理用に特別に設計されています。この位置決めシステムは、非常にコンパクトな設置面積で、センサーのZ軸と被検体のXY軸を同時に位置決めすることができます。 仕様 - 標準コンポーネントPLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - トラベル： 650 mm (XY) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：± 3.9 - ± 4.4 µm (XYZ) - 速度： 5 mm/s (XYZ) - 最大荷重300 n (X)、1000 n (Y)、160 n (Z) - 駆動ステッピングモーター（XY）｜マニュエル（Z） - フィードバック: - オープンループ (XY) カスタマイズオプション - 最大1000mmまでの様々な移動量 - 御影石製またはアルミ製のフレームおよびベースプレートの有無 - ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで）（例：エンクロージャー付き、排気システム付き - ケーブルルーティングのための個別ソリューション - 減衰ゴム層または空気圧ダンパーによる適応振動減衰 - 設定済みのコントローラーですぐに使用可能。