8 軸配置システム 417815.2022.W3.AB

多軸門型サーボモータ

カスタマイズ可能： - 多彩な調整オプションでタンジェンシャルスキャンに最適 - 最大0.5 µmまでの傾きと横方向のオフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - 標準システム：DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z) - トラベル：n x 360 mm (Rz) / ±1.5 - ±2 mm (X, Y, Rx, Ry) / 90 mm (R) / 50 mm (F) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：0.0005 - 0.001 µm (Rz) / ±0.5 - ±5.2 µm (X, Y, Rx, Ry) / 1 µm (R) / ±0.3 - ±0.4 µm (F) / ±3.9 - ±4.4 µm (Z) - 位置決め速度: 700-1400 mm/s (Rz) / 0.4 - 0.8 (XYZ) / 30-80 mm/s (FZ) - 最大荷重20 N (Ry) / 40 N (F) / 150 N (Z) - モーター鉄芯ダイナミックリニアモータ（Rz）／ステッピングモータ（X、Y、Rx、Ry、Z）／手動（R） - ガイドエアベアリング（Rz）／ソリッドステート、ギアボックス、リードスクリュー（X、Y、Rx、Ry）／スライドガイド（R）／クロスローラベアリング、ボールスクリュー（F）／プロファイルレール、ボールスクリュー（Z） - フィードバックアンギュラースケール（Rz）／オープンループ（XY、Rx、Ry、Z）／スケール（R）／リニアスケール（F） - アパーチャーØ 45 mm カスタマイズオプション - XYZ-Rx-Ry-Rzモーション用の組み合わせ可能な標準ステージ - フレーム、防振、エンクロージャの個別構成 - センサー/測定ヘッド、サンプルホルダーへのプロセス適応 - クリーンルーム、研究室、生産用バージョン - ワイヤレス電源および信号伝送 - PLCまたはPCコントローラを介したワークフローへの統合