XYZ軸配置システム Art.-ID 217999

リニア研究用ボールねじ

変動荷重・移動荷重用XYZ測定システム カスタマイズ可能 - 部品測定や高さのある部品の3Dプロファイルの取得に最適 - 荷重に左右されない高精度測定（±1 µm、移動物体でも測定可能 - 測定誤差を5 µrad以下に大幅に低減 - 完璧な真直度±0.5 µm、平面度±1 µm - 平坦度に依存しないインターフェースと調整機能 このXYZ位置決めシステムは、変動荷重や移動物体の高精度測定用に特別に設計されています。異なる重量クラスの物体を次々に測定しなければならない場合、従来の測定ステージではすぐに限界に達してしまいます。 仕様 - トラベル：200 mm (XY) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.3 - ± 0.4 µm (XYZ) - 位置決め速度：20 mm/s (XY) / 30 mm/s (Z) - 最大荷重45 n (XY) / 150 n (Z) - モーターDCモーター、クロスローラーベアリング (XYZ) - フィードバックリニアスケール カスタマイズされたオプション - 異なるモーターバリエーション：DCモーターまたはステッピングモーター - DT130またはDT200との組み合わせによる回転運動 - バイオテクノロジー、医療技術、製薬、半導体向けの特別構成 - クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - 設定済みコントローラーで使用可能。