3軸配置システム 782300:130.26

リニア自動研究用

高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能： - 高精度自動検査プロセスに最適 - 0.3 µmまでの高い繰り返し精度 - 測定誤差を3μm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチ誤差とヨー誤差で測定対象物を移動させるような高精度測定アプリケーション向けに開発されました。例えば、高さのある部品の測定や3Dプロファイルの記録などがこれにあたります。 仕様 - 標準システムKT310-DC (XY) / PMT160-DC (Z) - トラベル: 200 mm (XY) / 50 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.5 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.3 - ± 2.4 µm (Z) - 位置決め速度: 30 mm/s (XYZ) - 最大荷重110 n (XY) / 30 n (Z) - モーターDCモーター、ボールネジ (XYZ) - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 150 mmまでの移動量 - オプションで異なる測定システム分解能 - DT200との組み合わせによる回転運動 - 平坦度に依存しないインターフェースと調整オプション - 様々なモーターバリエーション：DCモーターまたはステッピングモーター - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン - サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラによるすぐに使える制御