3軸配置システム 782489:001.26

リニア顕微鏡用ボールねじ

高解像度のXYZ顕微鏡と検査ステーション カスタマイズ可能 - サンプル検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度繰り返し精度 - 測定偏差を3 µm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、高精度計測アプリケーション向けに設計されており、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラまで測定対象物を移動させます。xyステージはDCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。 仕様 - 移動量：200 mm (XY) / 200 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 位置決め速度: 25 mm/s (XY) / 15 mm/s (Z) - 最大荷重 Fx/ Fy：45 N (XY) - 最大荷重 Fz: 110 N (XY) / 150 N (Z) - モーターDCモーター, ボールネジ (XY) / マニュエル - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 最大200mmまでの様々な移動量 - 御影石ベースあり/なし - 振動デカップリングの有無 - ステッピングモーター、DCモーター、各種測定システム分解能 - MT130やPMT160などのモーター駆動Z軸 - DT200との組み合わせによる回転運動 - クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望によりクラス1まで対応可能） - サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラによるすぐに使える制御