XYZ軸配置システム 782300:193.26

リニアウェハー検査および計測学用品質管理用

検査と品質管理のためのXYZシステム カスタマイズ可能 - 0.3μmまでの非常に高い振れ精度と繰り返し精度 - 費用対効果の高いドライブで150Nまでの荷重を位置決め - 最大50mm/sの高速回転 - ランダム誤差の最小化 - 既存のカメラシステムやセンサーとの容易な統合と柔軟な組み合わせ 位置決めシステムは、3つの直線軸に沿った位置決めを可能にします。このユニットでは、PMT160リニアステージがアダプターブラケットを使用してKT470クロステーブルに取り付けられています。クロスローラーを使用することにより、真直度、平面度ともに低い振れ誤差を実現しています。 仕様 - 移動量: 300 mm (XY) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：±0.3～±1.7 µm (XYZ) - 位置決め速度: 25 mm/s (XY) - 最大荷重45 n (X) / 150 n (YZ) - モーターDCモーター - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 50～300mmまでの様々なZ軸移動量 - 様々なモーターバリエーション：DCモーターまたはステッピングモーター - 設定済みコントローラですぐに使用可能（例示ソフトウェアを含む - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン