XYZ軸配置システム 782300:113.26

リニアウェハー検査および計測学用研究用

ラボ用XYZシステムとウェハ検査用XYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.5μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重の位置決めにおいて±0.5μmの完璧な平面度 PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸に、独立した Z 軸ユニットを搭載した XY コンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作を必要とするすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - 標準コンポーネントPMT160-DC (XYZ) - トラベル：300 mm (X) / 150 mm (Y) / 50 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.5 - ± 1.5 µm (XYZ) - 位置決め速度: 25 mm/s (XYZ) - 最大荷重45 n (X) / 150 n (YZ) - モーターDCモーター、ボールネジ - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 50～300mmまでの軸ごとの異なる移動量 - DT130またはDT200との組み合わせによる回転運動 - 様々なモーターバリエーション：DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション - 設定済みコントローラですぐに使用可能。 - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン