XZ配置システム 782300:186.26

2軸方向リニアウェハー検査および計測学用

XZ労働・ウエハ技術システム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.4μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度での最小ステップと最高の信頼性 - 5kgまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 XZコンビネーションは、PMT160の高精度で耐久性の高い標準直動軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - 標準コンポーネントPMT160-DC (XZ) - トラベル: 300 mm (X) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：± 0.4 - ± 2.2 µm (XZ) - 位置決め速度： 25 mm/s (X) / 1.12 mm/s (Z) - 最大荷重45 n (X) / 150 n (Z) - モーターDCモーター、ボールネジ - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 50～300mmまでの軸ごとの異なる移動量 - DT130またはDT200との組み合わせによる回転運動 - 様々なモーターバリエーション：DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション - 設定済みコントローラですぐに使用可能（例示ソフトウェアを含む - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン