実験室検査用XYZ位置決めシステム
カスタマイズ可能:
- 高精度測定技術のセットアップと拡張に最適
- 0.3 µmまでの非常に高い繰返し精度
- 50mm/sまでの比較的高速な最高速度で、最小のステップサイズと最高の信頼性
- 150Nまでの中荷重を位置決めする場合、±0.5の完璧な平面度
この XYZ コンビネーションは、PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸を、アダプターブラケットを使用して KLT310 xy ステージに取り付けたものです。これにより、3つの直線軸に沿った位置決めが可能になります。
仕様
- 標準コンポーネントKT310-DC (X) / PMT160-DC (Z)
- トラベル:50 mm (XYZ)
- 繰り返し精度:± 0.5 (XY) / ± 0.3 - ± 0.3 µm (Z)
- 位置決め速度: 30 mm/s (XYZ)
- 最大荷重45 n (XY) / 150 n (Z)
- モーターDCモーター、ボールネジ
- フィードバックリニアスケール
カスタマイズオプション
- 最大100 mmの移動
- 様々なモーターバリエーションDCモーターまたはステッピングモーター
- クリーンルームISO 14644-1対応バージョン
- 設定済みコントローラですぐに使用可能(例示ソフトウェアを含む
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