3軸配置システム 782476:001.26

横型回転式自動

MP410-3 10E-6 mbarまでの高真空アライナー カスタマイズ可能 - 10-6mbarまでの真空中での搬送測定に最適 - 開口部235mmの大型試料に対応する設計 - 1 µmまでの高い繰り返し精度、5 kgの荷重容量 - バックラッシュのないボールねじ1214の使用による理想的な力の伝達 - 正確な動作パラメータで最適化された価格性能比 このアライナーでは、平面内で15 mmの2次平行移動と、± 5°までの垂直周りの回転が可能です。R(Phi)の動きはXYの組み合わせから得られます。 仕様 - 標準コンポーネントLA85 (XYRz) - トラベル：± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - 繰り返し精度：± 1.6 - ± 2.1 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 位置決め速度: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - 最大荷重250 N (XYRz) - モーターシュリットモータ、回転軸 - フィードバックオープンループ カスタマイズオプション - プロセスへの適合：アパーチャー、ホルダー、フィーダー、センサー - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ラック、防振、エンクロージャーの個別設計 - 位置決めタスクの3D設計による個別ソリューション開発