3軸配置システム 782459:003.26

自動ウェハー検査および計測学用半導体産業用

MP700-3 フラット3Dアライナー カスタマイズ可能： - 大型基板、マスク、フレームの高精度アライメントに最適 - 開口部730 x 730 mmの大型サンプルに最適 - 最大0.4 µm/±0.0002°の高繰り返し精度、28 kgまでの荷重に対応 - 990 x 1090 x 225 mmの超フラットデザイン - エアベアリングとダイレクトドライブによる低メンテナンス、低パーティクル このアライナーでは、平面内で±5mmの第2並進運動と±3°の垂直周りの回転が実現されています。R(Phi)の動きはXY軸の組み合わせの結果です。 仕様 - トラベル：± 5 mm（XY）/ ± 3 mm（Rz） - 繰り返し精度：± 0.4 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.0002 - ± 0.0003 µm (Rz) - 位置決め速度: 50 - 100 mm/s (XY) / 10 - 20 mm/s (Rz) - 最大荷重5 N (XY) / 100 N (Rz) - 開口部: 730 x 730 mm - モーターアイアンレスダイナミックリニアモーター (XYRz) - ガイドエアベアリング (XYRz) - フィードバックリニアエンコーダ (XYRz) - 長さ x 幅 x 高さ：990 x 1090 x 225 mm - 材質陽極酸化アルミニウム カスタマイズオプション - プロセスへの適合：アパーチャー、ホルダー、フィーダー、Zモーションの拡張 - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ラック、防振、エンクロージャーの個別設計 - 位置決めタスクの3D設計による個別ソリューション開発