XYZ軸配置システム 782325:110.24

自動工業用研究用

MP53-3 小型XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - コンパクトなアプリケーションに最適 - サブミクロンレンジの分解能 - 最大5Nの負荷容量 - 高精度位置決めによる信頼性と安定した品質 MP53位置決めシステムは、X、Y、Zモーション用の小型化された3軸システムで、移動範囲は10mmです。ピエゾモータを搭載し、数ナノメートルまでの位置決めが可能です。 仕様 - 標準システムMT53 - トラベル：10 mm (XYZ) - 繰り返し精度：±0.2～±0.3 µm (XYZ) - 位置決め速度： 5 mm/s (XYZ) - 最大荷重45 n (xy) / 150 n (z) - モーターピエゾモーター、クロスローラーベアリング - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - 繰り返し精度0.005 µmまでの高分解能測定システム（オプション - 回転アプリケーション用回転ステージと組み合わせ可能 - 真空度10～11mbarまたはクリーンルームISO 14644-1クラス6（ご要望に応じてクラス1まで）対応のバリエーション - 磁性、低磁性、マグネットフリーの各バージョンをご用意 - サンプルソフトウェアを含む設定済みモーションコントローラーですぐに使用可能