XYZ軸配置システム 782327:003.24

自動ウェハー検査および計測学用顕微鏡用

MP63-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高分解能 - 限られた建設スペースに最適 - 最大10 Nの負荷容量 - 細径スピンドルによるアプリケーションの微調整 - プロファイルレールベアリングによる長寿命と高精度な動作 この小型X-Y-Zシステムは、スペースが限られた位置決めアプリケーションに最適です。細径スピンドルとの組み合わせにより、XYZステージは非常に高い分解能を実現します。同時に、この高精度位置決めシステムは、非常に優れた価格性能比を提供します。 仕様 - 標準コンポーネントMT63-DC - トラベル：25 mm - 繰り返し精度：± 0.8 - ± 3.8 µm (XYZ) - 位置決め速度： 1.8 - 3.6 mm/s (XY) / 0.9 - 1.8 mm/s (Z) - 最大荷重10 N - モーターDCモーター、プロファイルレール - フィードバックモーターエンコーダー - 標準コンポーネントMT63-SM - トラベル：25 mm - 繰返し精度：± 1 - ± 4 µm (XYZ) - 位置決め速度： 1.3 - 2.6 mm/s (XYZ) - 最大荷重10 N - モーターステッピングモーター、プロファイルレール