MP95-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト
カスタマイズ可能:
- コンポーネントや追加軸のアライメントに最適
- XYZの移動量は最大40 mmで、コンパクトなサイズ(145 x 95 x 130 mm)を実現
- 非常に高分解能で、横3方向のステップ補正が可能
- 最大1.5 µmの繰り返し精度
XYZ位置決めシステムは、3台の小型リニアステージ(3 x MT95)で構成される直交方向位置決めシステムです。クロスローラーガイドにより、非常に優れた性能を実現しています。
仕様
- トラベル:40 mm
- 繰り返し精度:± 1.5 - ± 3.5 µm (XYZ)
- 位置決め速度: 1.1 - 2.2 mm/s (XYZ)
- 最大荷重30 n (xy) / 65 n (z)
- モーターDCモーター、ボールネジ
- フィードバックモーターエンコーダー
カスタマイズされたオプション
- プロセスへの適応:サンプル、サンプルホルダー、フィーダー、ロボット、センサー
- クリーンルーム用バージョン ISO 14644-1 (ご要望に応じてクラス1まで。
- 真空およびマグネットフリー仕様
- 位置決めタスクの3D設計による個別ソリューションの発見
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