3軸配置システム 782327:032.24

自動建設機械用ウェハー運搬用

MP130-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高剛性によるμm精度 - 最大30 mm/sの速度で高ダイナミクスを実現 - 最大荷重45 N - クロスローラベアリングガイドによる最小限の摩擦抵抗 スクリュードライブとDCまたはステッピングモーターを備えたコンパクトな3軸アライメントシステムは、当社のFMCシリーズコントローラーを使用して簡単に制御できます。適切なコミッショニングソフトウェアFMC Quickを使用することで、システムは数分で初期テストが可能になります。 仕様 - 標準コンポーネントMP130-DC - トラベル：50 mm - 繰り返し精度：± 2.5 - ± 4.5 µm (XYZ) - 位置決め速度： 30 - 60 mm/s (XY) / 1 - 2 mm/s (Z) - 最大荷重45 N - モーターDCモーター、クロスローラーベアリング - フィードバックモーターエンコーダー - 標準コンポーネントMP130-SM - トラベル：50 mm - 繰り返し精度：±2.3～±4.3 µm (XYZ) - 位置決め速度：20 - 40 mm/s (XYZ) - 最大荷重45 N - モーターステッピングモーター、クロスローラーベアリング