5軸配置システム 782497:006.26

6脚回転式半導体産業用

MP200-5 小型XYZファイデルタポジショニングシステム カスタマイズ可能 - 0.007 µmまでの超高分解能 - 最大位置決め精度（RxおよびRyで±1.5 - 最大20 Nの負荷容量 - 堅牢な自己保持型スライディングスレッドドライブによる0.07 µmまでの微細な動作 - ソリッドベアリングジョイントによる最高の耐干渉性 - すべての自由度を使用して±0.5 µmまで絶対的に一定の繰返し精度 - 5軸制御エレクトロニクス内蔵により非常にコンパクト - シンプルな電源供給と標準データインターフェースにより上位システムとの接続が可能 モータライズドセンタリングおよびレベリングステージは、5つの自由度を極めて安定的に動かします。システムは3方向すべてに動かすことができます。また、平面的に2つの角度で傾けることもできます。 仕様 - 標準コンポーネント：MT63-SM - トラベル：4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - 繰り返し精度：± 0.07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (RxRy) - 位置決め速度: 0.5 mm/s (XY) / 0.4 mm/s (RxRy) - 最大荷重20 N - モーターステッピングモーター (SM), スライディングスレッドベルト - フィードバックモーター-エンコーダー - 透過光: 45 mm