多軸配置システム 782497:008.26

6脚回転式ウェハー検査および計測学用

MP200-3 小型Z-Phiデルタ位置決めシステム、三脚 5自由度調整が可能なMP200-5アライナーに加え、3自由度調整を可能にしたアライナーです。内部は3つの垂直方向に作用する精密軸で構成されており、これらの軸はソリッドジョイントによって可動ロードプレートに接続されています。そのため、ロードプレートは2軸で傾けることができ、高さも調整できる。 ワークピースのアライメントは多くの場合十分であるため、特に光学部品の組み立てでは、高さの異なるレンズパッケージの補正に垂直方向の調整を使用することができます。また、このマニピュレーターとクロス透過型ライトテーブルやクロステーブルにより、XY方向に大きな移動範囲を持つ5軸マニピュレーターを実現することができます。例えば、KDT310、KT310、KDT235をXYシステムとして使用することができます。 仕様 - 標準コンポーネント：MT63-SM（Z、Rx、Ry） - トラベル：4 mm (Z) / 3 mm (Rx、Ry) - 繰り返し精度：± 0.07 - ± 1 µm (Z) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (Rx、Ry) - 位置決め速度： 0.5 mm/s (Z) / 0.4 mm/s s (Rx、Ry) - 最大荷重20 N - モーターステッピングモーター (SM), スライディングスレッドベルト - フィードバックモーター-エンコーダー - 透過光: 45 mm