多軸配置システム 782300:056.26

2-3軸自動半導体産業用

MP53-2-1 小型XY-Phi位置決めシステム ピエゾモータ搭載Phi-XYシステム XY移動、回転用の小型マニピュレーターです。直線移動は10mm、回転は±5°です。ピエゾドライブによりnm単位の極めて高い分解能を実現。回転は、フレキシブルカップリングによって回転ベアリングに作用するリニアステージによって実現されます。 アライメント用固定ジョイント 3軸システムは、部品やサンプルの位置合わせを目的としています。このような修正動作には、数ミリメートルまたは数度の小さな経路で十分であるため、リニアステージが、ソリッドステートジョイントを使用して、受動的な回転ステージにその動作を伝達する場合、回転動作を生成することができます。このようなソリッドステートジョイントの利点は、リニアステージの精度を回転ステージに完全に伝達できることである。たわみが5度以下であれば、このジョイントの剛性も、引張方向と圧縮方向のナノメートル領域の動きを伝達するのに十分なままである。 仕様 - 標準システム：MT53-PM (XYRz) - トラベル：10 mm - 繰り返し精度：± 0.4 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 位置決め速度: 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - 最大荷重5 N - モーターピエゾモーター、クロスローラーベアリング - フィードバックリニアスケール - 長さ x 幅 x 高さ: 121 x 85 x 76 mm