- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XYZ軸配置システム
- Steinmeyer Holding GmbH
XYZ軸配置システム 782327:001.263軸リニアウェハー検査および計測学用
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特徴
- 軸の数
- XYZ軸, 3軸
- 構造
- リニア
- 応用
- ウェハー検査および計測学用, サンプル準備用, 品質管理用
- その他の特徴
- コンパクト, 精密, DCモーター
- 繰返し精度
最大: 3.8 µm
最少: 0.8 µm
- 積載量
1 kg
(2.2 lb)- ストローク
最大: 25 mm
(0.98 in)最少: 25 mm
(0.98 in)- 速度
最大: 3.6 mm/s
最少: 1.8 mm/s
詳細
MP210-3 XYZ位置決めシステム
カスタマイズ可能
- 限られた設置スペースと0～40℃の温度変化に最適
- 最小スペースで最大25 mmの移動範囲
- 絶対位置の安定性（モーターオフ時
- 高い繰返し精度による安定した測定結果
このXYZシステムは、安定性の高い両面入射・透過光測定用の試料ホルダーの位置決めを可能にします。ローディングとフォーカシングは、25 mmストロークの垂直移動で実現します。
仕様
- 標準システムMT63 (XYZ)
- トラベル：25 mm
- 繰り返し精度：±0.8～±3.8 µm (XYZ)
- 位置決め速度： 1.8 - 3.6 mm/s (XYZ)
- 最大荷重10 N
- モーターDCモーター、リードスクリュー
- フィードバックリニアスケール
- 長さ x 幅 x 高さ: 206 x 259 x 137 mm
カスタマイズオプション
- プロセスへの適合: サンプルト、ホルダー、フィーダー、センサー
- クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能）
- ラック、防振、エンクロージャーの個別設計
- 位置決めタスクの3Dデザインによる個別ソリューション開発
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