XYZ軸配置システム 782327:001.26

3軸リニアウェハー検査および計測学用

MP210-3 XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - 限られた設置スペースと0～40℃の温度変化に最適 - 最小スペースで最大25 mmの移動範囲 - 絶対位置の安定性（モーターオフ時 - 高い繰返し精度による安定した測定結果 このXYZシステムは、安定性の高い両面入射・透過光測定用の試料ホルダーの位置決めを可能にします。ローディングとフォーカシングは、25 mmストロークの垂直移動で実現します。 仕様 - 標準システムMT63 (XYZ) - トラベル：25 mm - 繰り返し精度：±0.8～±3.8 µm (XYZ) - 位置決め速度： 1.8 - 3.6 mm/s (XYZ) - 最大荷重10 N - モーターDCモーター、リードスクリュー - フィードバックリニアスケール - 長さ x 幅 x 高さ: 206 x 259 x 137 mm カスタマイズオプション - プロセスへの適合: サンプルト、ホルダー、フィーダー、センサー - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ラック、防振、エンクロージャーの個別設計 - 位置決めタスクの3Dデザインによる個別ソリューション開発